تفصیلات | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (ایئر بیئرنگ ریل) |
موٹر کی قسم | تھری فیز آئرن لیس موٹر | وائس کوائل موٹر+ |
قرارداد | ڈیفالٹ 100nm ڈیجیٹل مقدار | 1vpp نیچے 5nm تک |
موٹر زور | مسلسل 60N/چوٹی 210N | مسلسل 60N/چوٹی 210N |
کم از کم قدم کا سائز[nm] | 200nm | 100nm |
سفر [ملی میٹر] | 200×200 | 10 |
تکرار کی اہلیت [um] | ±0.3 | |
پوزیشن کی درستگی [um] | ±1 | ±0.5 |
چپٹا پن [um] | 10um | 5um |
سیدھا پن [um] | 1um | 1um |
زیادہ سے زیادہ رفتار [ملی میٹر/سیکنڈ] | 500mm/s | 30mm/s |
لوڈ کی صلاحیت [کلوگرام] | 5 کلوگرام (زیڈ محور نیومیٹک مستقل قوت توازن وزن کے ساتھ) |